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CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本
：使用前請確認產品構成材料與使用流體及周邊環境是否適用。
注2 ：使用氫氟酸或者含有氫氟酸的化學液體時，
請在5~80°C范圍內使用。
如果連接方式為F-LOCK60系列配件，溫度范圍變為5~100°C。
Cv值是溫度為23°C時的值。
使用流體純水、化學液體、空氣、氮氣（注1）
流體溫度°C 5~120 （注2、注3）
耐壓MPa 1.0
使用壓力（A→B） MPa 0~0.5
CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本
在使用半導體以及LCD制造的清潔化學液體（包括純水）的設備
內，用于控制化學液體壓力的減壓閥
■對異物非常敏感的內置型過濾器
■流量、壓力特性良，安裝簡單
■良的耐腐蝕性
接液部位使用氟樹脂（PFA、PTFE）和SUS316，可發揮良的耐腐蝕性
■壓力及流量特性
使用氟樹脂膜片，與金屬膜片相比，壓力和流量特性更加
■由于過濾器為內置型，更能流體內無異物，更安全
■采用面板安裝，使安裝過程更加容易，也可以在底部進行安裝
使用壓力（B→A） MPa 0~0.5
閥座泄漏cm3/min 0 (水壓時)
背壓MPa 0~0.5
環境溫度°C 0~60
CKD氣控閥,喜開理氣控閥樣本
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